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近日,上海日揚(yáng)WEH®涂層工作室正式投產(chǎn),從研發(fā)、生產(chǎn)、測(cè)試、涂裝到售后全流程將在上海進(jìn)行,歡迎各位工程師、學(xué)者前來(lái)參觀。
【涂層實(shí)驗(yàn)室】
“WEH®涂裝"是一種先進(jìn)的納米涂層處理工藝,現(xiàn)已成功應(yīng)用于薄膜沉積和干刻蝕制程,是一種在真空環(huán)境下的高科技表面處理技術(shù)。該技術(shù)可以在材料表面上形成一層均勻、致密、具有特殊功能的涂層,減少工藝殘留物的粘附,提高材料的抗腐蝕性和使用壽命。
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該涂層有著良好的疏水性、耐溫性、接著性、抗腐蝕性以及高硬度、低粗糙度的優(yōu)點(diǎn),降低設(shè)備與管道particle堵塞風(fēng)險(xiǎn)。
WEH®涂層廣泛用于半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池、電子元器件、顯示器、等產(chǎn)品的制造過(guò)程中,尤其是真空系統(tǒng)的設(shè)備以及零部件中,應(yīng)用范圍非常廣泛。
【W(wǎng)EH®涂層特點(diǎn)】
WEH®涂層經(jīng)市場(chǎng)驗(yàn)證可以有效保護(hù)部分制程特別是例如AI-Pad、ALD和MOCVD制程中所需的真空設(shè)備例如真空泵、腔體、閥門(mén)與管道,這些設(shè)備與零件有著非常高的精度和技術(shù)要求,一般來(lái)說(shuō)價(jià)值不菲,而后端工藝殘留物的堆積導(dǎo)致設(shè)備要停機(jī)維護(hù),這意味著它們的維護(hù)周期對(duì)產(chǎn)線稼動(dòng)率和生產(chǎn)效益的影響非常大。WEH®涂層涂裝可顯著緩解零部件以及設(shè)備的粉塵堵塞難題。
【應(yīng)用案例】
日揚(yáng)科技提供真空系統(tǒng)領(lǐng)域的整合服務(wù),包括真空閥、腔體、真空零配件以及后端尾氣處理設(shè)備Scrubber和特殊真空納米涂層材料WEH®,致力于幫助客戶(hù)解決所有真空系統(tǒng)難題,實(shí)現(xiàn)各階段的降本增效,做客戶(hù)真正有價(jià)值的伙伴。