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真空鐘擺閥

簡要描述:真空鐘擺閥動閥連接了傳感器,讓控制器可以讓閥門打開,關閉或到第三個位置,提供更好的設定點精確度和可重複性控制功能。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:3185
  • 產品資料:

詳細介紹

品牌其他品牌產地進口
加工定制

Htc真空鐘擺閥具有高性能真空壓力控制系統,控制節流擺閥板可做開關動作,調整閘板開口大小及調整壓力(手動), 主要設計用來取代傳統的線性作動真空閘閥,以更少的移動零件、更少金屬與金屬間的摩擦,就能讓粉塵減少。以Htc日揚真空鐘擺閥的安裝也比傳統的真空閘閥方式只需要更少的空間即能便利安裝。


真空鐘擺閥的應用

高科技制程后段壓力控制和隔離閥

應用產業

>> SEMI - 半導體

>> FPD - 光電面板

>> CVD - 化學氣相沉積

>> Solar - 太陽能

APC鐘擺閥特點

集成整合壓力控制

精確的壓力控制

密實的隔離

反應時間快

友善簡易操作使用接口


材質

本體

A6061-T6

閥板

A6061-T6

開關壽命

200,000 cycles

氦氣泄漏率 (一大氣壓壓差)

本體

鋁合金

<1×10-9 mbar .l /sec

本體

鋁合金 ,超硬陽極處理

<1×10-5 mbar .l /sec

烘烤溫度

本體

≤ 120 ℃

驅動器

≤ 80 ℃

電磁閥

≤ 50 ℃

壓力范圍

鋁合金

1×10-8 mbar to 1.2 bar

鋁合金 ,超硬陽極處理

1×10-6 mbar to 1.2 bar

大壓差

1.2 bar

開啟前壓差

≤ 5 mbar

壓縮空氣壓力

4 ~ 6 Kg/cm2

開 / 關時間(秒)

ISO 200

ISO 250

ISO 320

1.2/1.2

1.2/1.2

2.0/2.0

密封圈材質

閥板

Viton O-ring 密封圈

閥蓋

Viton O-ring 密封圈

驅動器

氣動氣缸與手動旋鈕

重量

ISO 200

ISO 250

ISO 320

22Kg

32Kg

52Kg

安裝位置

水平或垂直

選配

a. 其他密封圈材質
b. 加熱器




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