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INFICON薄膜沉積監(jiān)控器

簡要描述:SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標準輸入,另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個錄像機輸出可提供模擬速率和厚度信號。

  • 產(chǎn)品型號:SQM160
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2025-11-17
  • 訪  問  量:9475
  • 產(chǎn)品資料:查看pdf文檔

詳細介紹

品牌Inficon/英福康產(chǎn)地進口
加工定制

SQM-160多層膜速率/膜厚監(jiān)測儀

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標準輸入,另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個錄像機輸出可提供模擬速率和厚度信號。

傳感器輸入可分配給不同的材料,在大型系統(tǒng)中平均分配以實現(xiàn)精確的沉積控制,或者配置為雙傳感器。速率采樣模式可在高速率過程中屏蔽傳感器,從而延長傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1?/s 或 0.01?/s,用戶可自行選擇。此外,還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示。憑借四個繼電器輸入,SQM-160 可控制來源或傳感器屏蔽、信號時間和厚度設(shè)定點以及信號晶體失效。數(shù)字輸入允許外部信號啟動/停止和歸零讀數(shù)。

功能

  • 兩個標準測量通道,另外四個可選

  • 模擬輸出便于記錄速率/厚度

  • 高分辨率選件:0.03 Hz,10 讀數(shù)/秒

  • RS-232 標準接口,可選擇連接 USB 或以太網(wǎng)












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