1479A MKS流量計

簡要描述：1479A MKS質(zhì)量流量計采用全金屬密封設(shè)計，做工堅固。適用于有毒和腐蝕性氣體。1479A流量計連接適當(dāng)壓力傳感器可作壓力控制器。1479A的精度為滿量程的±1%。

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加工定制	否

1479A MKS質(zhì)量流量計采用全金屬密封設(shè)計，做工堅固。適用于有毒和腐蝕性氣體。1479A流量計連接適當(dāng)壓力傳感器可作壓力控制器。1479A的精度為滿量程的±1%。

1479A選型：1479A00411CR1A6MXX

前綴	編碼
1479A	1479A
氣體選擇
Helium, He	001
Argon, Ar	004
Hydrogen, H2	007
Nitrogen, N2	013
Oxygen, 02	015
流量選擇
10	11C
20	21C
50	51C
100	12C
200	22C
500	52C
1000	13C
2000	23C
5000	53C
10000	14C
20000	24C
接口法蘭選擇
標準Swagelok 4VCR 公頭	R
可選擇VCO管	G
可選擇Swagelok 1／4"管	S
C-密封表面支架如SEMI2787.1	C
W-密封表面支架如SEMI2787.3F	H
閥門選擇
通常情況關(guān)閉	1
電通訊連接方式
模擬接口
9針“D"類型	A
15針“D"類型	B
20針“D"類型	C
數(shù)字接口
RS-485	5
DeviceNet^TM	6

密封選擇
金屬，在200sccm以下流量的用Kel-F閥塞，在500sccm以上的用杜邦閥塞	M
版本-*總線適配器	N
除了客戶，MKS公司將給當(dāng)前的版本	B

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