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Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊

簡要描述:GP 390型真空計運用薄膜傳感器技術,該產品可以提供近大氣端的精確的絕壓測量并能提供大氣端真空腔室內精準的相對壓力指示。

  • 產品型號:GP390真空計
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-10-31
  • 訪  問  量:5728
  • 產品資料:

詳細介紹

品牌其他品牌產地進口
加工定制

Granville-Phillips系列390 Micro-lon ATM模塊(GP 390型真空計)

真空測量解決方案

Granville-PhillipsMicro-lon ATM模塊復合了經標定的Micro-lon電離規技術和微型Conductron熱損失傳感技術和兩個壓阻薄膜傳感器于一體,從而提供了從高真空到大氣壓的精確、連續的壓力測量。

GP 390型真空計運用薄膜傳感器技術,該產品可以提供近大氣端的精確的絕壓測量并能提供大氣端真空腔室內精準的相對壓力指示。GP 390型真空計*的傳感器設計消除了在高壓力下影響熱損失傳感器特性的熱效應。                         GP 390型真空計這種小型的模塊復合了全部四種傳感器及控制電子器件于一個緊湊的一體化設計中,減少了腔室真空規管的需求數量并zui小化所占空間。全量程壓力測量可以通過單一模擬量信號或可選的串行RS-485DeviceNet數字協議輸出。GP 390型真空計RS-485DeviceNet版本產品可以zui多選擇三個設定點繼電器用于工藝控制,可以在真空壓力測量范圍內設定任意壓力值或者相對壓力值。                                  

GP 390型真空計復合規管技術

以往,在寬量程范圍內要進行精確測量需要對個傳感器,多個真空系統接口,以及相關電纜及電子器件。Granville-PhillipsMicro-lon ATM模塊GP 390型真空計)合并多傳感器于一個微機控制設計中,減少了整體購置成本,同時提高真空測量性能。

Granville-Phillips20多年成功的規管設計以及現場裝機經驗運用到了生產新的真空測量標準產品Micro-lon ATM模塊GP 390型真空計)中。量程寬、高性能、及緊湊型設計的Micro-lon ATMGP 390型真空計)是您進行高真空系統壓力測量的明智之選。      

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊


GP 390型真空計內部截面

GP 390型真空計特點與優勢:

寬量程范圍:提供從10-9Torr到大氣壓的真空壓力的連續測量。

高性能:經過驗證的Micro-lon雙燈絲電離規技術,獲的熱損失傳感器,以及精準的薄膜技術消除了熱損失傳感器的熱影響,增強了高壓力的測量性能。

自動控制:完整集成的傳感器自動控制激活和斷開電離規,因此簡化了規管操作。設定點的產品中,觸點繼電器可用來控制其他真空器件或實現安全互鎖。設定點會存于非易失性存儲器中。

緊湊設計:一個Micro-lon規管,一個熱損失傳感器連同一個大氣薄膜規、一個絕壓薄膜規,和控制器件全部集成在一個緊湊的模塊包中。

RS-485接口:允許模塊和主機之間進行通訊,并可使用可選的RS-485模塊配置進行通訊。

DeviceNet接口:可提供高速壓力測量讀數及簡單的規管配置參數的獲取。

可選的過程控制繼電器:zui多可用三個設定          

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊

GP 390型真空計傳感器開關點

點控制繼電器從而簡化工藝控制功能。設定點可以通過RS-485接口來配置。

現場可更換的規管組件:規管組件可以在模塊從真空系統上取下后僅僅使用螺絲刀就能實現快速簡單的更換。

 GP 390型真空計技術規格

測量范圍(對于空氣或N2)(注釋123

Torr

1x10-9到大氣壓

Mbar

1.33x10-9到大氣壓

Pa

1.33x10-7到大氣壓

X射線極限(注釋4

Torr

<3x10-10

Mbar

<4x10-10

Pa

<4x10-8

基于環境壓力的相對壓力測量范圍

Torr

-750+250

Mbar

-999333

KPa

-99.933.3

精度(對于空氣或N2的絕壓)(注釋5

Torr

1x10-6100mTorr+/-15%讀數;100mTorr150+/-10%讀數;1501000+/-2.5%讀數

Mbar

1.33x10-60.133+/-15%讀數;0.133200+/-10%讀數;2001333+/-2.5%讀數

Pa

1.33x10-613.3+/-15%讀數;13.32x104+/-10%讀數;2x1041.33x105+/-2.5%讀數

重復性(對于空氣或N2的絕壓)(注釋6

Torr

1x10-6100mTorr+/-5%讀數;100mTorr150+/-2.5%讀數;1501000+/-1.0%讀數

Mbar

1.33x10-60.133+/-5%讀數;0.133200+/-2.5%讀數;2001333+/-1.0%讀數

Pa

1.33x10-613.3+/-5%讀數;13.32x104+/-2.5%讀數;2x1041.33x105+/-1.0%讀數

精度(相對壓力)

+/-2.5Torr+2.5%讀數);+/-3.3mbar+2.5%讀數);+/-0.33KPa+2.5%讀數)

響應時間

<25毫秒

模擬量輸出

壓力

對數,0.57.0VDC0.5V/數量級

相對壓力

線性,1-5VDC-750+250Torr-1000+333mbar-100+33KPa

RS-485串口

數字通訊口

2線,半雙工

通訊格式

ASCII,無奇偶校驗位,1位停止位

波特率

1200,2400,4800,9600,19200(默認),38400

地址

0-63,通過地址選擇開關選擇或通過RS-485命令

DeviceNet網絡接口

通訊類型

輪詢I/O和顯示傳送

通訊格式

BOOLBYTESTRUCTSSTRINGREALINTUINTUSINTEPATHWORD數據

波特率

125,250500千波,開關選擇

地址

0-63,通過地址選擇開關選擇

工作溫度

10-400C50-1040F)不結露

存放溫度

-40-+700C-40-+1580F)不結露

烘烤溫度

zui高1050C2210F),移除電子器件

電離規發射電流

自動量程切換

電離規自動控制設定(默認)

電離規啟動

2x10-2Torr2.66x10-2mbar2.66Pa,隨壓力上升關閉

電離規停止

3x10-2Torr3.99x10-2mbar3.99Pa,隨壓力上升關閉

切換至高發射

5x10-6Torr6.66x10-6mbar6.66x10-4Pa,隨壓力上升關閉

切換至低發射

1x10-5Torr1.33x10-5mbar1.33x10-3Pa,隨壓力上升關閉

電離規除氣

電子轟擊;每個燈絲3W一分鐘

電離規燈絲

鎢絲或鍍氧化釔的銥絲

燈絲操作(注釋7

交替(氧化釔燈絲的默認模式),自動,手動(鎢絲的默認模式)

熱損失傳感絲

鍍金鎢

規管容積

10.8cm30.65in3

LED指示

模塊狀態

I/O連接

RS-485/模擬量:15D型插針接頭,DeviceNet5針微型接頭

zui大沖擊電流

RS-485/模擬量:2A 48W 0.5秒,DeviceNet0.25A

供電要求

RS-485/模擬量:24VDC+10%-15%1A 22W額定;DeviceNet24VDC(1126.4VDC)額定0.2A

CE認證

EMC電磁兼容指令

89/3361/EECEN50081-2EN50082-2EN1326-1

低壓指令

73/23/EECEN61010-1

顯示選項

圖形液晶

繼電器設定點選項

RS-485DeviceNet2SPDT(NO/NC)3SPST(NO),每個設定點都可以獨立分配給絕壓或相對壓力測量

繼電器觸點額定值

zui大

1A  30VDC阻抗

zui小

5mA  5VDC阻抗

重量

728.5g25.7oz)(2.75CF法蘭)

外殼材料

壓鋁粉末噴涂

暴露于真空下的材質

304不銹鋼,鉭,鎢,銥絲鍍氧化釔,氧化鋁,銀銅焊料,可伐,可伐鍍金或鍍鎳,硅酸硼玻璃

GP 390型真空計注釋:

  1. 測量結果會隨不同氣體和混合情況而改變。

  2. Micro-lon ATM模塊不能用于易燃易爆氣體測量。

  3. 大氣壓的數值是基于標定時環境壓力。

  4. X射線極限是規管的zui小絕壓讀值。在X射線極限附近不可能進行重復測量。

  5. 精度(規管讀數和校驗參考標準之間的差異)是通過數據統計確定的并且包括了規管和電子器件的綜合性能。

  6. 重復性是指同一模塊在不同時間讀取相同壓力值的能力。

  7. 在交替模式下模塊將交替激活電離規燈絲。在自動模式下燈絲1會先工作直至它不能工作為止,然后模塊自動切換到燈絲2工作。在手動模式下模塊會按照自動模式的操作方式讓燈絲工作,除非手動干預要求激活燈絲2

Granville-Phillips Micro-lon®ATM模塊                                                                  

GP 390型真空計尺寸






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