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ATM 至超高真空 TripleGauge®

簡要描述:TripleGauge® BCG552 在一個傳感器法蘭中集成了 3 個真空傳感元件。這款新型 TrigonTM 系列的旗艦產品具有極寬的測量范圍,從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 傳感器,BCG552 可用于壓差測量,并在多個應用中用作真空開關。
支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲在 UHV 和 HV 范圍內具有出色的精度、可重復。

  • 產品型號:Trigon™ BCG552
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-09-12
  • 訪  問  量:2209
  • 產品資料:查看pdf文檔

詳細介紹

品牌Inficon/英福康產地進口
加工定制

Trigon™ BCG552ATM 至超高真空 TripleGauge®

TripleGauge® BCG552 在一個傳感器法蘭中集成了 3 個真空傳感元件。這款新型 TrigonTM 系列的旗艦產品具有極寬的測量范圍,從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1500 mbar)。由于增加了 ATM 傳感器,BCG552 可用于壓差測量,并在多個應用中用作真空開關。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲在 UHV 和 HV 范圍內具有出色的精度、可重復性和使用壽命,而微型電容式隔膜真空計在 ATM 范圍內具有出色的精度,并且不受氣體類型的影響。

優勢:

  • 1、3 + 1 個傳感元件,測量范圍極廣,降低成本,節省空間

  • 2、雙燈絲設計

  • 3、獨立于氣體類型的壓力測量(10 托以上)為任何混合氣體提供更可靠的負載鎖定控制。

  • 4、壓差測量消除了與大氣壓力變化有關的不確定性

  • 5、自動高真空皮拉尼調節減少了操作員的干預

  • 6、電隔離電子元件可避免雜散電流

  • 7、滑動排放模式,避免在切換排放流時出現壓力跳躍和凍結現象

  • 8、設定點繼電器

  • 9、明亮大屏幕 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉),帶用戶界面

  • 10、模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

  • 11、可與 VGC50x 控制器系列配合使用

  • 12、向后兼容 TripleGauge® BCG450

  • 13、符合 RoHS 規范

典型應用:

  • 1、半導體制程、傳輸和負載鎖定室中的壓力測量

  • 2、工業鍍膜

  • 3、低真空至超高真空范圍內系統的一般真空測量和控制

  • ATM 至超高真空 TripleGauge®










































































































































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